物理电子学教研室
沈杰
副教授
Email: shenjie@fudan.edu.cn
办公地点:复旦大学江湾校区先进材料楼306室
1991年毕业于复旦大学物理系,同年进入复旦大学材料科学系工作。2005年获物理电子学博士学位。
真空与薄膜技术、功能薄膜材料:
1)径流分子泵性能研究及在大型真空设备上的应用
2)钢板上真空镀锌和锌镁合金镀层技术
3)二氧化钛光催化薄膜
4)透明导电薄膜
本科生专业课“薄膜技术”、“薄膜材料与器件”、“材料制备与加工”(合讲)。研究生学位课“薄膜物理与技术”
国际上首次采用径流分子泵对连续镀膜生产线进、出片系统进行重组优化,完成了“高效、清洁、节能的连续真空镀膜设备”。降低了油蒸汽污染,提高镀膜产品质量;节省抽气能耗50%;缩短抽气时间30%。
在单箱式大型蒸发镀膜设备上,用径流分子泵+电弧吸附泵彻底取代了原来的扩散泵+罗茨泵,节能80%,无油蒸汽污染,产能翻一番。这是国际上第一台淘汰了扩散泵的大型蒸发镀膜设备。
中科院沈学础院士领衔的鉴定委员会称赞 “这是富有原创性的科技成果,将推动真空产业的升级换代”。
图1 大型连续镀膜真空设备 图2单箱式(无扩散泵)大型蒸发镀膜设备
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