加工设备
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喷金仪

联系人：刘惠普

联系邮箱：hpliu@fudan.edu.cn

放置地点：江湾校区化学楼A0005室

基础信息

  • 设备型号：JFC-1600

  • 设备厂家：日本电子（JEOL）

  • 主要规格及技术指标：溅射电流：10、20、30、40 mA。靶材：金。样品台直径：64 mm。

  • 主要功能及特色：该仪器内置氩气吹扫功能，能够实现高效的溅射操作。阴极配备永久磁铁，通过高效的辉光放电进行溅射，提高了溅射效率。通过设定溅射电流和腔室内的压力，精确控制涂层粒子的包覆效果，实现无阴影涂层。仪器操作简单，能够在短时间内完成颗粒性优异的涂层。选配的样品旋转倾斜装置可有效改善包覆不足导致的电荷积聚问题。

  • 收费标准：50元/次。