师资队伍库o
戎瑞芬
发布时间:2019-06-15        浏览次数:1887

性别:女             

出生年份: 1962年

职称:高级工程师     
联系电话:65642390   
Email:rfrong@fudan.edu.cn

教育背景


华东师范大学电子科学与技术    学士


研究方向


半导体器件工艺及集成电路芯片分析


代表性成果


国家自然科学基金重点项目“高密度封装用新型材料与互连技术研究”, 通过国家自然科学基金委员会的验收,研究成果评价等级为优。


代表性论文


1. Ag 基多层氮化铝陶瓷基板低温共烧的工艺研究 半导体技术 , 第 29 卷,第 3 期, 2004 年 
2. 应用于蓝牙技术发展的 LTCC--AlN 多层布线工艺 功能材料,第 33 卷,第 5 期, 2002 年 
3. 铜布线工艺中阻挡层钽膜的研究 固体电子学研究与进展,第 22 卷,第 1 期, 2002 年
4. 钽薄膜淀积速度与阻挡效果的研究固体电子学研究与进展,第 22 卷,第 2 期, 2002 年
5. 以氮化铝陶瓷为基板的倒扣封装工艺研究 固体电子学研究与进展,第 21 卷,第 1 期, 2001 年