上海市微电子材料与元器件微分析专业技术服务平台

平台组织构架和服务能力

主要服务内容

序号	服务项目	服务关键词	联系人	联系电话
1	材料失效分析	失效，断裂	王珺	021-31243528
2	器件失效分析	失效分析；元器件	王珺	021-31243528
3	材料特性表征与分析	特性	王珺	021-31243528
4	IC失效分析	失效分析	王珺	021-31243528
5	封装可靠性	可靠性测试和分析	王珺	021-31243528
6	封装计算模拟	有限元，应力，断裂	王珺	021-31243528

材料特性表征与分析

显微分析

器件结构分析

材料和结构失效分析

仿真模拟分析

腐蚀与防护

服务支撑能力：设备

序号	仪器名称	型号	序号	仪器名称	型号
1	塑封开封机	JetEtch II	37	单面光刻机	H94-17G
2	探针测试台	SP6	38	反应离子刻蚀系统	80PLUS
3	差示扫描量热仪	Q200	39	磁控溅射系统	DISCOVERY 18
4	样品预减薄机	656A	40	电子束镀膜机	DMDE450
5	焊接强度测试仪	Dage 4000	41	快速温变试验机	KTHE-715TBS
6	动态力学分析仪	Q800	42	磁控溅射镀膜机	JPF-500
7	离子减薄机	600B	43	脉冲激光沉积高真空实验装置	自制
8	精密离子研磨系统	691HAOOO	44	透射电镜防振系统	*
9	截面抛光仪	IB-09010CP	45	石榴石固体激光器	INDI-40-10- HG
10	场发射透射电子显微镜	CM200FEG	46	高低温试验箱	WGDF602
11	点胶机	S-820B	47	扫描电子显微镜	S-360
12	紫外、可见分光光度计	UV-2550	48	封装印刷机	LS-25GX
13	高精度微组装键合设备	Fineplacer-96 (Lambda)	49	回流焊机	MF-VP-8020N
14	离子色谱仪	DX-300	50	扫描电子显微镜	XL30FEG
15	保偏光纤熔接机	FSM-40PM	51	研磨机	MultiPrep？ System
16	精密阻抗测量仪	Agilent E4980A	52	聚焦离子束	FIB200XP
17	光纤综合实验平台	AMI-2	53	高压液相色谱仪	600
18	显微硬度计	HMV-2TADW	54	原子力显微镜	AJ-3型
19	原子吸收分析仪	UNI CAM 939	55	电动振动试验系统	DC-600- 6/SC-2000/TBVS-400
20	等离子体质谱仪	PIASMAQUAD 3	56	非线性仿真软件	V6-10版
21	傅里叶变换红外-拉曼一体化光谱仪	Vertex70	57	磁控溅射镀膜机	ZJT-300
22	光谱仪	SM-240	58	热分析仪	DTG-60A
23	分光椭偏仪	V-VASE型	59	冷热冲击试验机	KTCB-415TBS
24	分光椭偏仪	V-VASE型	60	半导体性能测试仪	Keithley 4200-SCS/F
25	多功能薄膜光学分析仪	n&k Analyzer 1280	61	表面轮廓测量仪	ET3000I
26	偏光显微镜	LEICA DMLP	62	脉冲电子烧蚀镀膜机	123
27	多功能光学分析仪（带软件）	8000CD	63	反应离子刻蚀仪	JVPITER III
28	半导体半导性分析仪	590C	64	金相显微镜	DM4000M
29	半导体特性系统	4200-SCS/F型	65	X射线能谱仪	XFLASH5030
30	飞行时间二次质谱仪	TFS-2000MPI	66	多功能光谱显微镜	AXIOTRON
31	光学显微镜	BX51RF	67	场发射扫描电子显微镜	JSM-6701F
32	MOCVD反应腔	自制	68	双束聚焦离子束系统	Quanta 200 3D
33	光学显微镜系统	BX60	69	表面剖析仪	ALPHA
34	场发射扫描俄歇微探针	MICROLAB 310F	70	二次离子质谱仪	IMS6F
35	真空喷雾反应系统（薄膜制备）	自制	71	扫描式探针显微镜	NANO- STATIONⅡ
36	激光粒度分析仪	Bettersize2 000	72	扫描探针显微镜	AUTOPROBE CP

FIB

SEM

SIMS

磁控溅射镀膜

热冲击实验箱

倒装贴片机

分光椭偏仪

DMA

DTG

服务支撑能力：人员

主要人员：1位新任职教授，13位副教授和高级工程师，包括一名海外回来的研究人员，7位工程师和实验室工作人员。

拥有一支具有丰富微分析经验的队伍，在材料表征、工艺诊断、器件剖析和材料失效分析能力突出，能为微电子和材料、制造业相关企业的产品分析和研发提供服务。

序号	姓名	职称	类别	技术专长	序号	姓名	职称	类别	技术专长

1	吴晓京	高级/教授	管理人员	物质结构与器件分析	13	钟高余	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件分析
2	曾韡	高级/副教授	技术服务人员	器件分析与失效分析	14	张昕	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件分析
3	肖斐	高级/教授	管理人员	材料与器件可靠性分析	15	于志强	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件失效分析
4	李越生	高级/教授	技术服务人员	材料与器件的可靠性分析	16	荣瑞芬	高级/高级工程师	技术服务人员	材料制备与分析
5	李劲	高级/教授	技术服务人员	材料与器件失效分析	17	宋云	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件分析
6	杨振国	高级/教授	技术服务人员	材料与器件的失效分析	18	程元荣	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件可靠性分析
7	张群	高级/教授	技术服务人员	器件制备与分析	19	胡刚	中级/工程师	技术服务人员	材料与器件分析
8	蒋益明	高级/教授	技术服务人员	材料与器件失效分析	20	黄郁芳	高级/高级实验师	技术服务人员	材料与器件分析
9	黄曜	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件分析	21	曹荣根	中级/工程师	技术服务人员	材料与器件分析
10	俞宏坤	高级/副教授	技术服务人员	材料与器件分析	22	李卓	高级/青年研究员	技术服务人员	高分子材料表征与分析
11	李楠	高级/高级工程师	技术服务人员	器件分析	23	龚嶷	中级/讲师	技术服务人员	材料与器件失效分析
12	王珺	高级/教授	管理人员	器件性能模拟	24	莫晓亮	高级/副教授	技术服务人员	薄膜材料与器件分析

李劲

金属腐蚀研究学术带头人。现任“中国腐蚀与防护学会”（国家一级学会）副理事长，兼任中国宝武集团企业顾问和中国工程物理研究院材料研究所客座教授。

吴晓京

中国电子显微镜学会第7届理事会理事，发表100余篇文章，拥有9项日、美、欧专利。国际晶体学学会采纳了吴晓京教授所确定的4种新超导物质的结构数据。

杨振国

江苏省双创人才，中国机械工程学会等多个协会的理事。授权国家发明专利20余件，发表国际期刊SCI论文120余篇; 编制国家行业标准一项(YB/T4610)。

肖斐

主要研究方向为集成电路封装技术及相关的电子材料，承担了国家科技重大专项（02专项）任务5项，发表论文80余篇，获国家发明专利授权26项。

张群

中国真空学会理事、副秘书长、薄膜专业委员会委员、TFT-LCD关键材料及技术国家工程实验室副主任；《真空科学与技术学报》副主编、发表研究论文120多篇。

王珺

复旦大学材料科学系教授，研究兴趣包括微电子封装可靠性、材料微观尺度的力学分析、有限元分析、材料失效、断裂等方面的研究。主持了2项国家自然科学基金面上项目，1项02专项任务，1项航天科技基金项目。在先进封装应力分析、计算模拟方法开发、可靠性实验和封装数据库研究等方面取得了一些重要的研究成果，在国内外学术刊物、国际会议上发表了60余篇学术论文，获国家发明专利授权7项、软件著作权3项。与多家企业进行产学研合作，利用计算模拟和实验研究帮助企业解决实际应用问题，先后与宝钢、上海实业交通、上海卫星研究所、成都芯源系统有限公司、中国航天科技集团公司808所、华为、华为海思等单位合作，完成多项应用课题研究，主持在研和完成的企业合作项目十余项。

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