特色服务——发光显微镜EMMI分析：某代工厂IGSS AND IDSS Fail
热点Bias方案：
Site A ：Source=0V，Gate=5~10V，限流1mA
Site B：Source=Gate=0V，Vds=220V，限流1mA
热点找到之后先发热点报告，待GM回复是否进行FIB切片
特色服务——平台与上海合晶硅材料有限公司的检测合作
30Si二次离子质谱仪测试合晶硅材料结果的对比图：
“复旦”为我平台测试结果，“u.s.a”为美国埃文斯公司，一致性很好。
上海合晶硅材料有限公司是上海市集成电路行业协会理事会单位，主要产品有集成电路和外延用硼、磷、砷、锑等不同掺杂剂的各类硅单晶抛光片，产品质量达国际和国内先进水平。
测试结果通过一致性验证后，每年测试样品最高可达几千片。合晶硅材料有限公司与本平台长期进行合作。
上海市杨浦区淞沪路2005号先进材料楼
021-31243528
mmmc@fudan.edu.cn
平台情况简介复旦大学校内依托单位：复旦大学国家微电子材料与元器件微分析中心复旦大学材料科学系基本定位：围绕微分析技术，面向电子器件、半导体行业以及其他制造业，为企业与研发机构的技术研发及技术创新提供测试、分析和综合研究服务；利用复旦大学应用基础研究的优势，与产业界密切合作，进行新材料、新技术的研发；为产业界培养微分析技术、研究和应用的人才。人员总数：28位教授：8人副教授、高级工程师：13人其他：7人平台专家指导委员会姓名单位职称/职务孙大林复旦大学教授/系主任罗乐中科院上海微系统所研究员肖斐复旦大学教授李明上海交通大学教授张建华上海大学教授崔大祥上海交通大学教授王珺复旦大学教授孔令文安捷利美维电子有限责任公司副董事长曹永峰上海华力微电子公司市场部总监郭茂华为海思半导体有限公司技术专家佘勇华为技术有限公司技术专家
